SURF-CAL™ 標(biāo)準(zhǔn)微粒 聚苯乙烯微球

 SURF-CAL™ 標(biāo)準(zhǔn)微粒 聚苯乙烯微球

Thermo Scientific™ SURF-CAL™ 尺寸標(biāo)準(zhǔn)品用于校準(zhǔn)和維護(hù)掃描表面測試系統(tǒng) (SSIS)，可以簡化校準(zhǔn)晶片的準(zhǔn)備工作?？商峁┑奈⒘３叽缗c儀器生產(chǎn)商要求的校準(zhǔn)點大小一致。

Thermo Fisher Scientific™ 以及半導(dǎo)體行業(yè)和 SEMI 共同確定了校準(zhǔn)掃描表面測試系統(tǒng)時所使用的特定粒徑。我們與儀器制造商一起合作，共同開發(fā)了這一套符合 SEMI 指南要求的 SURF-CAL™ 系列產(chǎn)品。

• 可提供的微粒尺寸包括半導(dǎo)體國際技術(shù)藍(lán)圖 (ITRS) 定義的關(guān)鍵的尺寸節(jié)點的大小。

• 將 SURF-CAL™ NIST™ 可溯源聚苯乙烯微球 (PSL) 置于特別選定的晶片上，您就可以執(zhí)行定期校準(zhǔn)檢查，并可將您的掃描儀與其他地方的掃描儀進(jìn)行對比。

• 您也可以在生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵階段對 SSIS 系統(tǒng)進(jìn)行性能評估。

• 這一系列標(biāo)準(zhǔn)品懸浮于去離子水中，以終濃度為 3 × 10⁸ 粒子/mL 的 50mL 瓶裝規(guī)格提供。

備注：

PD1100 系列產(chǎn)品以及更小的粒子均以濃度為10¹⁰粒子/mL 的規(guī)格提供，主要用于微分遷移率分析儀 (DMA) 或其他尺寸排阻技術(shù)作為輔助手段的應(yīng)用。

內(nèi)容與儲存

除非另有說明，未使用本產(chǎn)品時，將其冷藏（2°C 至 8°C），請勿冷凍。將瓶子豎直密封存放。用手輕輕顛倒或用渦旋混合器混合產(chǎn)品。